ASML已經(jīng)成為了全球第一大光刻機(jī)廠商，而且最頂尖的EUV光刻機(jī)更是獨(dú)家壟斷。

日前與媒體交流時，ASML技術(shù)開發(fā)副總裁Tony Yen確認(rèn)了此前外界的猜測，他表示EUV光刻機(jī)目前有三大客戶，分別是臺積電、三星和Intel。

至于同樣制造光刻機(jī)的日本佳能、尼康為何在EUV上掉隊，Yen指出，我們從2000年左右開發(fā)EUV，并決定大批量生產(chǎn)這種光刻機(jī)。

日本人沒有這么做，因為他們覺得系統(tǒng)太復(fù)雜。實際上，我們當(dāng)時也不是100%確信EUV光刻機(jī)會成功。

當(dāng)然，Yen提到，EUV光刻機(jī)的成功還有蔡司、Cymer(已被ASML收購)等企業(yè)參與，其中蔡司獨(dú)家向ASML出售半導(dǎo)體相關(guān)的曝光產(chǎn)品。

據(jù)官方披露的數(shù)據(jù)，去年全球光刻機(jī)總銷售量為413臺，其中ASML銷售258臺占比62%，佳能銷售122臺占比30%，尼康銷售33臺占比8%。從光刻機(jī)類型來看，尼康出貨的主要是ArF immersion、ArF dry，佳能主要是KrF、i-line（份額69%）。